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晶錠非接觸方阻測試儀

晶錠非接觸方阻測試儀:晶錠,也叫單晶硅棒,是一種純硅材料,在電子工業(yè)中被廣泛應用。晶錠是一種長條狀的半導體材料,通常采用Czochralski法或發(fā)明家貝爾曼的Float-Zone法制備,直徑通常為200mm或300mm。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-02-18
  • 訪  問  量:385
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晶錠非接觸方阻測試儀介紹:

晶錠,也叫單晶硅棒,是一種純度硅材料,在電子工業(yè)中被廣泛應用。晶錠是一種長條狀的半導體材料,通常采用Czochralski法或發(fā)明家貝爾曼的Float-Zone法制備,直徑通常為200mm或300mm。方阻,全稱是方塊電阻(Sheet Resistance),指薄膜單位面積上的電阻,等于電阻率除以厚度,單位為Ω/□。方塊電阻有一個特性,即任意大小的正方形邊到邊的電阻都是一樣的,不管邊長是1m還是1mm,它們的方阻都是一樣。

對于硅材料,什么時候用電阻率,什么時候用方阻呢?

對硅晶圓或絕緣體上硅(SOI),規(guī)格書上通常用電阻率表征其基本電學參數。硅片一般分為高阻硅和低阻硅,高阻硅中的雜質濃度非常低,通常在1012cm-3以下,這使得高阻硅片的電阻率非常高,在103-106Ω·cm之間。相對于低阻硅,高阻硅的制造工藝極為難,電阻越高要求的硅的純度越高,很多標稱的高阻硅經過退火,電阻率都有一定程度的衰減。

方阻這個概念,主要是針對薄膜提出來的,它的提出使MEMS器件電學設計更為簡便。它好比一個正方形方塊積木,我們知道了方阻值,只要數出它的方塊數(電阻的長除以寬),就很容易計算出總電阻。所以,方塊和方阻的引入,極大了方便了設計和制造人員之間的溝通。對于多晶硅或者注入單晶硅,我們甚至不需要知道注入深度(結深),只需要測定方阻值,即可輕易完成電路部分的設計。

晶錠非接觸方阻測試儀技術參數:

方阻(電阻率)

測片

量程:5~400Ω/sq(0.1~6Ω·cm)

測錠

量程:0.03~1Ω·cm

厚度:~1.6mm

采樣率

60-1000SPS(1ms-16ms/點)

采樣數據

上限400個點

傳輸協(xié)議

Modbus Rtu/ Modbus Tcp、用戶自定義SOCKET協(xié)議等

尺寸

探頭:Ф20×136mm

控制盒:173×130×55mm

PN探頭

采樣率

60sps-500sps(2ms-16ms/點)

采樣數據

上限200個點

數據接口

RS485/CAN/TCP SOCKET

尺寸

Ф25×99mm

溫度探頭

范圍

-40℃~100℃

精度

±1.5℃

尺寸

Ф12×85mm


 
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