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無損方塊電阻測試儀的優(yōu)勢體現(xiàn)在哪些方面?
產(chǎn)品中心/ products
晶錠渦流法電阻率測試儀:電阻率是用來表示各種物質(zhì)電阻特性的物理量。某種物質(zhì)所制成的原件(常溫下20°C)的電阻與橫截面積的乘積與長度的比值叫做這種物質(zhì)的電阻率。電阻率與導(dǎo)體的長度、橫截面積等因素?zé)o關(guān),是導(dǎo)體材料本身的電學(xué)性質(zhì),由導(dǎo)體的材料決定,且與溫度有關(guān)。電阻率在國際單位制中的單位是Ω·m,讀作歐姆米,簡稱歐米。常用單位為“歐姆·厘米“。
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晶錠渦流法電阻率測試儀可以通過渦流測量高精度和分辨率為1毫米的方式來測量晶圓片或晶塊的電阻率。由于距離相關(guān)的內(nèi)部布局矩陣,渦流傳感器有一個非常好的長期穩(wěn)定性因此,每個電阻率圖都是測量表面接地度的幾何圖。電阻率可與少數(shù)負(fù)載流子消耗和光電導(dǎo)率圖同時測量。在進(jìn)行電阻測量時,需要用戶提供樣品的厚度。
晶錠渦流法電阻率測試儀技術(shù)參數(shù):
步徑≥1mm
邊緣:12mm
電阻率片厚:150-250μm
電阻率范圍
默認(rèn)設(shè)置:0.5-5 Ohm cm
準(zhǔn)確度:<3%
重復(fù)性:<1%(范圍從0.5-3 Ohm cm)
為了研究發(fā)射極擴散的均勻性,有可能出現(xiàn)較弱的發(fā)射極的方阻。基礎(chǔ)的電阻率由用戶給出。
方阻測量范圍為0.1-200 Ohm/sq。
以標(biāo)準(zhǔn)樣品量下的準(zhǔn)確度,
0.1-10 Ohm/sq:<3%精度
10-100 Ohm/sq:<3%精度
100-200 Ohm/sq:<3%精度
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